펄스 마그네트론 스퍼터링에 의한 태양전지용 AZO 박막의 대면적 동적 증착시의 균일도 문제

양원균; 주정훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 양원균 (군산대학교) 주정훈 (군산대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 136 - 136 (1page)

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Wonkyun Yang

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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