Role of a passivation layer in superconformal copper gap-fill by chemical vapor deposition

문학기; 김선일; 박영록; 이내응

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 문학기 (성균관 대학교) 김선일 (성균관 대학교) 박영록 (성균관 대학교) 이내응 (성균관 대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2009.8

수록면: 215 - 215 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

The effect of plamsa treatment on superconformal copper gap-fill

문학기 , 김선일 , 박영록 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

2009

Role of a passivation layer in superconformal copper gap-fill by chemical vapor deposition

문학기 , 김선일 , 박영록 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료

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문학기

소속기관 성균관대

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 4 이용수 32

김선일

소속기관 성균관 대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 5 이용수 49

박영록

소속기관 성균관 대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 8 이용수 89

이내응

소속기관 Sungkyunkwan University

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 110 이용수 3,447

이 논문과 함께 이용한 논문

Superconformal gap-filling of nano trenches by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) with hydrogen plasma treatment

H. K. Moon , N.-E. Lee 한국진공학회 학술발표회초록집 2010 .08

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