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저자정보
장봉균 (한국기계연구원) 최현주 (한국기계연구원) 김재현 (한국기계연구원) 이학주 (한국기계연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
94 - 97 (4page)

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Measurement of thin films has been the significant issue for their application such as micro processors, MEMS devices and flexible devices. To measure the mechanical properties of thin films accurately, it is necessary to fabricate a free-standing specimen without substrates, and with the same process as their applications. Free-standing tensile specimen can be made easily using transfer printing process which does not give damages to thin film specimen. In this study, we fabricate free-standing silicon specimen using transfer printing machine which is composed of precise translation stages and loadcell for controlling contact forces and adhesion force. The free-standing specimen transferred onto grips by PDMS stamp is tested by micro tensile tester which is able to measure uniaxial load and strain with DIC method. This combined testing procedure of thin film specimen will make alleviate the difficulties testing thin film specimens.
#Transfer printing(전사 공정) #Mechanical property(기계적 물성) #Thin film(박막)

목차

Abstract
1. 서론
2. 박막 인장 시편 제작
3. 미소 인장 실험
4. 결론
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