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Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 실험 방법
4. 결과 및 토의
5. 결론
참고문헌
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단결정 실리콘 박막의 미소인장 물성 평가
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2008 .11
MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
단순빔형 MEMS 스위치를 위한 새로운 고효율 제조 공정 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
MEMS용 구조물을 위한 알루미늄 박막의 잔류응력에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
MEMS 제작기술을 이용한 미세 힘센서 설계 및 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
박막의 기계적 물성을 위한 새로운 인장 시편 및 인장 시험기
대한기계학회 논문집 A권
2007 .06
MEMS 소재의 기계적 특성 평가를 위한 인장형 시편 및 시험기 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .04
Silicon On Nothing 공정을 이용한 MEMS 절대압 압력센서 Modeling
대한전자공학회 학술대회
2015 .06
[특집 : MEMS 기술] MEMS 기술의 개요
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2005 .07
단결정 실리콘의 3차원 미세패턴 가공 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1996 .06
MEMS 기술
기계저널
2007 .05
MEMS기술을 이용한 가속도계의 실리콘 펜들럼 설계 및 제작공정에 관한 연구
제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집
1998 .12
MEMS 기술에 의한 광스위치의 제조 ( Fabrication of Optical Switches Using MEMS Technology )
한국통신학회 기타 간행물
1998 .01
지능재료를 이용한 3-D MEMS의 제작
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2001 .12
The Estimation of MEMS Properties
한국CDE학회 학술발표회 논문집
2008 .01
플라즈마 애싱 공정에 의한 표면미세가공 MEMS 구조물의 변형 분석
한국항공우주학회지
2003 .09
MEMS 기술을 이용한 압전저항 실리콘 스트레인 게이지의 제작
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
2007 .11
마이크로위성 탑재를 위한 MEMS 추력기의 환경시험
한국추진공학회 학술대회논문집
2014 .12
MEMS : From Research to Applications
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Micro-needle fabrication and Performance evaluation Using MEMS Process
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
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