메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
45 - 48 (4page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
The mechanical behavior of small-sized materials has been investigated for many industrial applications, including MEMS and semiconductors. It is challenging to obtain accurate mechanical properties measurements for thin films due to several technical difficulties, including measurement of strain, specimen alig㎚ent, and fabrication. In this work, we used the micro-tensile testing unit with the real-time DIC (Digital Image Correlation) strain measurement system. This system has advantages of real time strain monitoring up to 50 ㎚ resolution during the micro-tensile test, and ability to measure the young’s modulus and Poisson’s ratio at the same time. The mechanical properties of SCS (Single Crystal Silicon) are measured by uniaxial tension test from freestanding SCS which are 2.5 ㎛ thick, 200-500 ㎛ wide specimens on the (100) plane. Young’s modulus, Poisson’s ratio and tensile strength in the 〈110〉 direction are measured by micro-tensile testing system.
#Single crystal silicon thin film(단결정실리콘 박막) #micro-tensile test(미소인장시험) #Young's modulus(탄성계수) #Poisson's ratio(푸아송비)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

전사 공정 장비를 이용한 박막 인장 시편 제작 및 기계적 물성 측정
장봉균 ,  최현주 ,  김재현 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2010 .11
박막의 기계적 특성 평가 기법에 관한 연구
김해진 ,  김대은 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014 .10
벌지 실험과 나노 압입 실험을 통한 박막의 기계적 물성 측정
정봉부 ,  이헌기 ,  박현철 대한기계학회 논문집 B권 2012 .02
나노 구조 박막 시스템의 음향특성 계측
박익근 ,  박태성 ,  Chiaki Miyasaka 대한기계학회 춘추학술대회 2010 .11
카본 및 보론질화막의 나노다층박막 합성 및 기계적 물성 평가
나종주 ,  문장원 ,  이인섭 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007 .04

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0