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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.10
수록면
11 - 16 (6page)

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We have used Visual Image Tracing(VIT) strain measurement system coupled with a micro tensile testing unit to test thickness and microstructure dependent mechanical behavior of Au film. The advantage using this method is to monitor the real time images of specimen during the test in order to determine its Young’s modulus, yield strength and tensile strength. 0.5, 1 and 2 ㎛ thick films were deposited by sputtering system. Free standing films were prepared through lithography and etching processes. Au films were annealed at 300℃ and 350℃ to achieve microstructure evolution and Focus ion beam (FIB SEM) and transmission electron microscopy (TEM) were employed to characterize grain sizes of films. Thickness and grain sizes dependent mechanical behavior such as stress-strain curve, Young’s modulus and yield strength of Au thin film will be presented.
#Mechanical property(기계적 물성) #thin film(박막) #Young's modulus(탄성 계수) #real time(실시간)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 및 측정
3. 결과 및 분석
4. 결론
후기
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