자기 조립 분자막의 표면파손특성 및 미세 금속 구조물 제작에의 응용

성인하; 김대은

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 성인하 김대은

저널정보: 한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 학술대회 제35권

발행연도: 2002.5

수록면: 40 - 44 (5page)

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The motivation of this work is to use SAM(Self-Assembled Monolayer) for developing a rapid and flexible non-photolithographic nano-structure fabrication technique which can be utilized in micro-machining of metals as well as silicon-based materials. The fabrication technique implemented in this work consists of a two-step process, namely, mechanical scribing followed by chemical etching. From the experimental results, it was found that thiol on copper surface could be removed even under a few nN normal load. The nano-tribological characteristics of thiol-SAM on various metals were largely dependent on the native oxide layer of metals Based on these findings, nano-patterns with sub-micrometer width and depth on metal surfaces such as Cu, Au and Ag could be obtained using a diamond-coated tip.

#Atomic Force Microscope #Lateral Force Microscope #Nano-structure fabrication #Thiol-SAM(Self-Assembled Monolayer)

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