CVD and Applications of Organosilane Self-Assembled Monolayers (SAMs)

Osamu Takai

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Osamu Takai

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 INTERFINISH 2008

발행연도: 2008.6

수록면: 46 - 46 (1page)

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#Self-assembled monolayer(SAM) #Organosilane #CVD #Micro/Nano lithography #Micro/Nano assembly

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