유기 자기조립 단분자막의 레이저 포토 패터닝을 이용한 박막 미세 형상 가공 기술

최무진; 장원석; 김재구; 조성학; 황경현

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최무진 장원석 김재구 조성학 황경현

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제12호

발행연도: 2004.12

수록면: 160 - 166 (7page)

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2004

유기 자기조립 단분자막의 레이저 포토 패터닝을 이용한 박막 미세 형상 가공 기술

최무진 , 장원석 , 김재구 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004.12 학술저널

클로로메틸 폴리이미드(CMPI) 박막과 근접장 나노 프로브 레이저 패터닝을 이용한 미세 형상 가공 기술

최무진 , 장원석 , 김재구 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

유기 자기조립 단분자막과 나노프로브 레이저 패터닝을 이용한 금속박막 미세 형상 가공 기술

최무진 , 장원석 , 김재구 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.05 학술대회자료

2003

레이저 포토패터닝을 이용한 이종 자기조립 단분자막 형성 기술

최무진 , 장원석 , 김재구 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2003.10 학술대회자료

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Self-Assembled Monolayers(SAMs) by alkanethiol adsorption to thin metal film are widely being investigated for applications as coating layer for anti-stiction or friction reduction and in fabrication of micro structure of molecule and bio molecule. Recently, there have been many researches on micro patterning using the advantages of very thin thickness and etching resistance of Self-Assembled Monolayers in selective etching of thin metal film. In this report, we present the several machining method to form the nanoscale structure by Mask-Less laser patterning using alknanethiolate Self-Assembled Monolayers such as thin metal film etching and heterogeneous SAMs structure formation.

#Self-Assembled Monolayers(자기조립단분자막) #Laser Patterning(레이저 패터닝) #Thin Metal Film(금속 박막) #Micromachining(마이크로 가공) #Laser Direct Machining(레이저 직접 가공)

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논문수 246 이용수 12,169

김재구

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조성학

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