ρ＋Si 외팔보 구조를 이용한 광학 소자용 마이크로 구동기의 제작

朴泰奎 ,  梁翔植

전기학회논문지 C

2001 .05

표면 미세가공기술을 이용한 마이크로 광학소자 및 구동기의 제작

김건년 ,  박광범 ,  정석원 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

MEMS 공정을 이용한 마이크로 PZT 외팔보 에너지 수확소자의 제작 및 특성

김문근 ,  권광호 ,  황범석 외 2명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

Porous Si layer의 광학특성과 편광소자에의 응용

구경완 ,  황재효 ,  白石和男 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

마이크로 외팔보를 이용한 나노 독성 물질 검출 방법 개발

박찬호 ,  장규환 ,  이상명 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .05

3D 프린터를 사용한 외팔보 제작

김성진 ,  서예지 ,  심성민 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .07

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Fabrication and Experiment of Piezoelectric Micro Cantilever Applicable to Thrombolysis

백건훈 ,  서영태 ,  방용승 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .11

압전형 감지기/작동기를 이용한 외팔보의 능동 진동 제어

최수영 ,  김진태 ,  정태수 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

외팔보형 나노 디바이스의 비선형 동적 모델링

김일광 ,  이수일 ,  강상욱

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2010 .04

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

Si 기판상에 제작된 회전형 ACTUATOR ( A Rotating Actuator Fabricated on Si Wafer )

하병주 ,  홍순관 ,  박선우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

정전기력을 받는 마이크로 외팔보의 동적 해석

정강식 ,  문승재 ,  유홍희

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2004 .05

미세 외팔보를 이용한 미세 상호작용력 측정 방법 연구

김성주 ,  문원규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01