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이용수
Abstract
1. 서론
2. 정전형 마이크로 구동기의 구조
3. 구동기의 변위 해석
4. 구동기의 제작 공정
5. 구동기의 특성 시험 결과
6. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
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