선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

50 ㎛ 기판을 이용한 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 제조 및 특성 분석

송준용 ,  최장훈 ,  정대영 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

Si 기판 세정 조건에 따른 산화막의 특성 연구

전형탁 ,  강응렬 ,  조윤성

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

압전 ACTUATOR와 그 응용

이능헌 ,  이덕출

전기의세계

1991 .06

전기로를 이용한 Si || SiO/SiN || Si 이종기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회지

2002 .01

다결정 Si 기판의 진공주조법에 관한 연구

이근희 ,  이진형

한국주조공학회지 (주조)

2000 .01

로봇용 소형 Actuator 개발에 대한 연구

김주한 ,  류세현 ,  정중기 외 1명

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

Actuator 연구의 방향과 과제

박성환

한국CDE학회지

2013 .08

Si(100)기판상에 3C-SiC결정성장

정연식 ,  정귀상 ,  Shigehi 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

액추에이터 개발을 위한 동력 전달 방법에 대한 연구

박경열 ,  김래겸

한국자동차공학회 춘계학술대회

2010 .05

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Si+ 이온주입된 Si 기판의 결함형성 및 회복에 관한 연구 ( Characteristics of Si + - self implant Damage and Its Annealing Behavior )

김광일 ,  이상환 ,  정욱진 외 4명

전자공학회논문지-A

1994 .08

기판 세정특성에 따른 표면 패시배이션 및 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 특성변화 분석

송준용 ,  정대영 ,  김찬석 외 5명

한국재료학회지

2010 .01

Si기판 직접접합기술을 이용한 박막 SOI구조의 형성과 고감도 Si 홀 소자에의 응용 ( Formation of Thin Film SOI Structures and Its Application to a High-Sensitivity Si Hall Device Using Si-wafer Direct Bonding Technology )

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Cu배선을 위한 Ta-Si-N Barrier에 관한 연구

신영훈 ,  김종철 ,  이종무

한국재료학회지

1997 .01