지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 515 - 518 (4page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 연구에서는 Pb(Zr,Ti)O₃ (PZT) 박막을 사용한 외팔보에너지 수확소자를 설계 및 제작하였다. 압전 외팔보를 이용한 에너지 수확소자에서 낮은 공진 주파수 특성을 갖기 위해 Si proof mass를 사용하도록 설계 하였다. 또한 Pt/PZT/Pt/SiO2/Si 층으로 설계하여 외팔보 소자를 제작 하였으며, 모달 해석을 사용하여 공진주파수 특성을 시뮬레이션 하였다. 제작된 외팔보의 크기는 약 4,930 μm × 450 μm × 12 μm 이고, Si proof mass의 크기는 약 1,410 μm × 450 μm × 450 μm 이다. 제작된 압전 외팔보소자는 가속도 1g (9.8 m/s2) 에서 측정 하였으며, 공진 주파수 특성은 84.5 Hz를 나타냈다. 수확된 전압은 88 mV 전력은 0.166 μW를 수확 하였다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0