지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 검토
4. 결론
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
플라즈마 실리콘 OXYNITRIDE막의 구조적 특성에 관한 고찰
전기학회논문지
1992 .05
플라즈마 CVD 방법에 의한 oxynitride막의 특성에 관한 고찰
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
RTP로 $N_2$O 분위기에서 제조한 Oxynitride Gate 절연체의 물질적 전기적 특성
한국재료학회지
1992 .01
$N_{2}O$ 기체로 제조한 Oxynitride 절연체의 물질적 전기적 특성
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
Laser CVD법에 의해 퇴적된 OXYNITRIDE막의 특성에 관한 고찰
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
PLASMA SILICON OXYNITRIDE 막의 DEPOSITION 조건에 따른 막의 구조적 특성 고찰 ( A Study on the Structure Characteristics of Plasma Silicon Oxynitride Film According to Deposition Condition )
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
습식 산화한 LPCVD Silicon Nitride층의 물리적, 전기적 특성
한국재료학회지
1994 .01
EFFECTS OF $N_2O$ PRESSURE ON THE CHARACTERISTICS OF ULTRA-THIN GATE OXYNITRIDE
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Characterization of Silicon Oxynitride Film by Plasma CVD
KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING
1992 .01
PECVD 법으로 증착된 silicon oxynitride 의 물성 분석
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
레이저 CVD법에 의해 퇴적된 OXYNITRIDE막의 기판세정법에 따른 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
Characteristics of Silicon Oxynitride Barrier Films on Flexible Polymer Substrates
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
High Performance Thin-Film Transistors Based on Zinc Oxynitride Semiconductors: Experimental and First-Principles Studies
한국재료학회지
2016 .01
Influence of moisture on the electrical instability of zinc oxynitride thin-film transistors
대한전자공학회 학술대회
2019 .06
Oxynitride Films Deposition and Characteristics by Eximer Laser CVD
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
Electrical and Corrosion Properties of Titanium Oxynitride Films Prepared by Inductively Coupled Plasma Assisted Reactive Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
조성변화에 따른 PECVD SiON 박막의 물성특성
반도체및디스플레이장비학회지
2005 .01
Oxidation Behavoir and Electrical Characteristics of Ultrathin Oxynitride in RTP System
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
0