Laser CVD법에 의해 퇴적된 OXYNITRIDE막의 특성에 관한 고찰

김창덕 ,  신상우 ,  정문남 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

Characterization of Silicon Oxynitride Film by Plasma CVD

Yung Kwon Sung

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1992 .01

레이저 CVD법에 의해 퇴적된 OXYNITRIDE막의 기판세정법에 따른 특성에 관한 연구

김창덕 ,  이상권 ,  김태훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

플라즈마 실리콘 OXYNITRIDE막의 구조적 특성에 관한 고찰

成英權 ,  李鐵眞 ,  崔福吉

전기학회논문지

1992 .05

N₂O 가스에서 열산화에 의해 형성된 oxynitride막의 특성

배성식 ,  이철인 ,  최현식 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

Oxynitride Films Deposition and Characteristics by Eximer Laser CVD

김창덕 ,  김영호 ,  신상우 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

PLASMA SILICON OXYNITRIDE 막의 DEPOSITION 조건에 따른 막의 구조적 특성 고찰 ( A Study on the Structure Characteristics of Plasma Silicon Oxynitride Film According to Deposition Condition )

이철진 ,  성영권 ,  안용철

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

RTP로 $N_2$O 분위기에서 제조한 Oxynitride Gate 절연체의 물질적 전기적 특성

박진성 ,  이우성 ,  심태언 외 1명

한국재료학회지

1992 .01

$N_{2}O$ 기체로 제조한 Oxynitride 절연체의 물질적 전기적 특성

박진성

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

EFFECTS OF $N_2O$ PRESSURE ON THE CHARACTERISTICS OF ULTRA-THIN GATE OXYNITRIDE

Joo ,  Moon-Sig ,  Lee 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD 법으로 증착된 silicon oxynitride 의 물성 분석

조유정 ,  한길진 ,  김영철

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

습식 산화한 LPCVD Silicon Nitride층의 물리적, 전기적 특성

이은구 ,  박진성

한국재료학회지

1994 .01

Characteristics of Silicon Oxynitride Barrier Films on Flexible Polymer Substrates

Do Kyung Lee ,  Han Jae Shin ,  Young Tae Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

LOW TEMPERATURE DEPOSITION OFSIO_x FILMS BY PLASMA-ENHANCED CVD USING 100 ㎑ GENERATOR

Nobuyuki Kakinoki ,  Takenobu Suzuki ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .12

RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )

황정태 ,  정창영 ,  정관수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성

박상현 ,  이덕출

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

Characterization of the ultra thin films of silicon oxynitride deposited by plasma-assisted $N_2O$ oxidation for thin film transistors

Hwang ,  Sung-Hyun ,  Jung 외 19명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

High Performance Thin-Film Transistors Based on Zinc Oxynitride Semiconductors: Experimental and First-Principles Studies

Kim ,  Yang-Soo ,  Kim 외 3명

한국재료학회지

2016 .01

플라즈마 CVD를 이용한 탄소나노튜브의 성장

방윤영 ,  장원석

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06