Oxidation Behavoir and Electrical Characteristics of Ultrathin Oxynitride in RTP System

조남훈; 허윤준; 박재우; 최홍구; 노재성; 김재정

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조남훈 허윤준 박재우 최홍구 노재성 김재정

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제5권

발행연도: 1998.1

수록면: 261 - 262 (2page)

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