Langmuir Probe를 이용한 유도결합형 플라즈마의 측정

이영환 ,  조주웅 ,  김광수 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

이차원 하이브리드 모델을 이용한 원통형 플라즈마내의 Langmuir Probe 동작해석

金燻 ,  Robe ,  t K. Po 외 1명

전기학회논문지

1995 .06

최대 효율을 갖는 무선전력전송용 ECR장치 설계

김성완 ,  김창선

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .07

ECR 용 최적 마그네트에 관한 연구

김윤택 ,  김용주 ,  김교순 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

Langmuir막과 Langmuir-Blodgett막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Langmuir and Langmuir-Blodgett Films )

미쯔마사 이와모또 ,  강도열

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

ECR의 원리를 이용한 플라즈마 가열장치에 대한 연구

김원섭

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

ECR장치의 임피던스 매칭회로 설계

김성완 ,  김창선

전력전자학회 학술대회 논문집

2012 .07

ECR 산소 플라즈마를 이용한 저온 열산화 ( Low Temperature Thermal Oxidation using ECR Oxygen Plasma )

이정열 ,  강석원 ,  이진우 외 2명

전자공학회논문지-A

1995 .03

Comparison analysis of superconducting solenoid magnet systems for ECR ion source based on the evolution strategy optimization

Wei ,  Shaoqing ,  Lee 외 1명

한국초전도·저온공학회논문지

2015 .01

ECR 플라즈마를 이용한 Cu 박막의 건식 식각특성에 관한 연구

이성권 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

ECR 플라즈마 방법에 SiO₂ 박막 제조에 관한 연구

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

ECR 플라즈마 방법에 의한 SiO2 박막 제조에 관한 연구 ( A Study on the Fabrication of SiO2 Films by ECR Plasma Method )

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Compact ECR plasma 장치의 제작 및 특성 연구 ( Study on the Fabrication and Characterization of Compact ECR Plasma System )

윤민희 ,  박원일 ,  남기석 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .04

ECR 플라즈마에 의해 형성된 실리콘 질화막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Silicon Nitride Thin Films Formed by ECR Plasma )

구본영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1992 .10

ECR 상온증착법에 의한 구리 금속막 코팅

고형덕 ,  변동진 ,  이중기 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

이온에너지분석에 의한 ECR 플라즈마의 특성및 식각특성 연구

이호준 ,  이석현 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

이온에너지분석에 의한 Ecr 플라즈마의 특성 및 식각특성 연구 ( A Study on the Properties of Ecr Plasma and Its Etching Characteristics by Ion Energy Analysis )

이호준 ,  이석현 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화박막 증착

송선규 ,  장홍영

한국표면공학회지

1990 .12

대기압 플라즈마 유동장에 삽입된 랑뮤어 프로브의 영향에 관한 수치적 연구

백재상 ,  황정훈 ,  이종철 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .11