지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. ICBE 시스템의 구성과 탄탈륨 산화막의 형성
Ⅲ. 실험 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고 문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
ICBE 기법에 의한 고유전율 Ta₂O₅ 박막의 저온 형성에 관한 연구
전기학회논문지
1995 .11
A Study on the Growth of BST Ferroelectric Thin Films by ICBE Technique and the Analysis of Electrical Characteristics for the Application of ULSI Fabrication
전기학회논문지
1997 .04
수소화-탈수소화법을 이용한 탄탈륨 스크랩으로부터 탄탈륨 분말 제조 연구
자원리싸이클링
2018 .01
열산화법으로 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성 ( Electric Characteristics of Tantalum Pentoxide Thin Film Formed by Thermal Oxidation )
대한전자공학회 학술대회
1991 .07
열산화법으로 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1991 .06
탄탈륨 산화물의 마그네슘 가스환원에 의한 탄탈륨 금속분말 제조
한국분말야금학회지
2018 .01
증착 온도에 따른 Tantalum Oxide 막의 성질 변화 연구
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
열산화법으로 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성 ( Electric Charcteristics of Tantalum Pentoxide
전자공학회논문지-A
1992 .03
전자선 가열법으로 형성된 탄탈륨산화막의 유전 특성 ( Dielectric Characteristics of Tantalum Pentoxide Thin Film deposited by E-Beam Evaporation )
대한전자공학회 학술대회
1990 .07
열CVD방법으로 증착시킨 탄탈륨 산화박막의 특성평가와 열처리 효과
한국재료학회지
1995 .01
산소결핍 탄탈륨 산화물을 활용한 탄탈륨 산질화물 및 질화물 합성
한국분말야금학회지
2008 .01
연속 공정으로 형성된 탄탈륨 산화막 및 실리콘 질화막의 이중유전막에 관한 연구 ( A Study on the double-layered dielectric films of tantalum oxide and silicon nitride formed by in situ process )
전자공학회논문지-A
1993 .01
탄탈륨 합금을 이용한 X-선 흡수체 물성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
ONO 위에 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성 ( Electric Characteristics of Tantalum Pentoxide Thin Film on the ONO )
대한전자공학회 학술대회
1992 .07
ONO 위에 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1992 .06
2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
탄탈륨 산화막과 플라즈마 실리콘 질화막의 이중 유전막에 관한 연구 ( A Study on the Multilayered Dielectric Film of Tantalum Pentoxide and Plasma Silicon Nitride )
대한전자공학회 학술대회
1992 .11
탄탈륨 분말제조시 분말특성에 미치는 환원제의 영향
한국재료학회지
2001 .01
아노다이징에 의한 탄탈륨의 표면발색
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
0