ICBE 기법에 의한 저온 탄탈륨 산화막의 형성에 관한 연구

강호철 ,  황상준 ,  배원일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

A Study on the Growth of BST Ferroelectric Thin Films by ICBE Technique and the Analysis of Electrical Characteristics for the Application of ULSI Fabrication

成萬永

전기학회논문지

1997 .04

증착 온도에 따른 Tantalum Oxide 막의 성질 변화 연구

박태서 ,  강창석 ,  권기원 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Flux Coating Fabrication of Ta₃N₅ Crystal Layers on Tantalum Substrate

Mugi Komatsu ,  Hajime Wagata ,  Nobuyuki Zettsu 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

탄탈륨 산화물의 마그네슘 가스환원에 의한 탄탈륨 금속분말 제조

이동원

한국분말야금학회지

2018 .01

A Study on the Growth of a Ferroelectric Thin Film using Ionized Cluster Beam Epitaxy Technique and the Applicaion for ulsi Fabrication

Hyun Seok Lee ,  Young Sik Kim ,  Young Shin Woo 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

고주파 플라즈마 응용 Ionized Source Beam Epitaxy 의한 Gan의 Epi 성장 ( Epitaxial Growth of GaN on Si ( 100 ) / Sapphire ( 0001 ) Using RF Plasma Assisted Ionized Source Beam Epitaxy )

유명철 ,  김태일

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1994 .01

E-Beam Evaporation 방법에 의해 증착된 고유전율 박막용 Pt 하부전극에 관한 연구

차선용 ,  이희철

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

산소결핍 탄탈륨 산화물을 활용한 탄탈륨 산질화물 및 질화물 합성

박종철 ,  피재환 ,  김유진 외 1명

한국분말야금학회지

2008 .01

Al2O3 기판위에 형성된 Ti-O 완충층을 가진 Ta/Ta2O5/Ta 커패시터의 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

열처리 온도에 따른 $Ta_2O_5$ 박막의 특성변화

강필규 ,  진정근 ,  노대호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Hollandite Nax(Ti₈-_xCr_x)O₁₆의 이온 전송과 고유전율을 위한 분자 시뮬레이션

정인호 ,  최용성 ,  이경섭

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

Molecular Simulation for Ion Transport and High Frequency Dielectric of the Hollandite Nax(Ti₈-_xCr_x)O₁₆

정인호 ,  최용성 ,  이경섭

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

The Anode Oxidation of Tantalum Thin Film

Chang-wu Hu

INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING

2010 .06

PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF ZINC OXIDE FILMS DEPOSITION BY ION BEAM ASSISTED MOLECULAR BEAM EPITAXY

Sung Jin Kim ,  Se-Young Choi

AFORE

2012 .11

ALD로 성장시킨 $Ta_2O_5$ 박막의 열처리에 따른 특성변화

이재웅 ,  함문호 ,  김형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01