REOXIDATION법을 이용한 Si WAFER의 HOLE TRAP의 제거 ( Elimination of Hole Traps on Si Wafer Using Reoxidation Method )

홍순관 ,  주병권 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

Nitridation and Reoxidation of SiO2 for Ultra thin Dielectric

Jung Suk Lee ,  Chang dug Jang ,  Young Jae Lee

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

3D 패키지 미세 관통 홀 형성에 관한 연구

신영의 ,  김종민 ,  김영탁 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .06

고분산 담지 금촉매 - I. 금의 첨가 효과 및 활성점 생성 -

안호근 ,  히로오 니이야마

공업화학

1994 .01

V형 공구를 이용한 Si-wafer의 기계적 가공 시 패턴각도 변화 연구

최대희 ,  전은채 ,  제태진 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2014 .11

전기로를 이용한 Si || SiO/SiN || Si 이종기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회지

2002 .01

50 ㎛ 기판을 이용한 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 제조 및 특성 분석

송준용 ,  최장훈 ,  정대영 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

펨토초 레이저를 이용한 3차원 패키징 기술

김주석 ,  신영의 ,  김종민 외 1명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2006 .10

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

단결정 Si-wafer의 기계가공 시 하중증가속도에 따른 가공 mechanism변화 분석

최대희 ,  전은채 ,  제태진 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

퍼지 논리를 이용한 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘

권오진 ,  최성주 ,  조현찬 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

단결정 Si-wafer 의 기계가공 시 절삭속도에 따른 가공 mechanism 변화 분석

최대희 ,  전은채 ,  제태진 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

나노초 펄스 레이저 응용 사파이어/실리콘 웨이퍼 미세 드릴링

김남성 ,  정영대 ,  성천야

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2010 .02

최적조건 선정을 위한 Pad 특성과 Wafer Final Polishing의 가공표면에 관한 연구

원종구 ,  이은상 ,  이상균

한국기계가공학회지

2012 .02

Wafer final polishing에 따른 표면 현상과 마멸도에 관한 연구

원종구 ,  이정택 ,  황성철 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2008 .05

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01