사중극자 질량 분석기를 이용한 BCl₃/Ar 유도결합 플라즈마 특성 진단

金瓘河 ,  金昌日

전기학회논문지 C

2006 .04

Cl₂/Ar 혼합가스를 이용한 VO₂ 박막의 유도결합 플라즈마 식각

정희성 ,  김성일 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2008 .01

Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 2명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

플라즈마 응용 표면 장비에서 QMS의 활용

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

Cl2 / Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N2 가스 첨가 효과 ( The Effect of Additive N2 Gas In Pt Film Etching Using Inductively Coupled Cl2 / Ar Plasmas )

유재흥 ,  김남훈 ,  장의구 외 1명

전자공학회논문지-SD

2000 .07

사중극자 이온트랩 질량분석기의 질량 측정 정밀도 향상 방법

김승용 ,  김석윤 ,  김현식

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .10

사중극자 이온트랩 질량분석기의 질량 측정 정밀도 향상 방법

김승용 ,  김석윤 ,  김현식

정보 및 제어 논문집

2013 .10

$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용

김현수 ,  이주훈 ,  오경희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

유도결합형 플라즈마에서 압력에 따른 Ar Gas의 특성분석

조주웅 ,  이영환 ,  허인성 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

유도결합형 플라즈마를 이용한 Ta 식각 특성

이영식 ,  나선웅 ,  이내응 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

유도결합형 Ar 플라즈마의 압력에 따른 전기적 특성분석

趙胄雄 ,  李永煥 ,  金光洙 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .03

Ar/CF4/Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 1명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Ar 가스 압력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전자 밀도 측정

李永煥 ,  金光洙 ,  趙胄雄 외 1명

전기학회논문지 C

2003 .11

CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

QMS 기반 리스크 경영시스템 구축 방향

김종걸 ,  김창수

한국신뢰성학회 학술대회논문집

2002 .06

Cl2 / Ar 가스 플라즈마에 O2 첨가에 따른 Pt 식각 특성 연구 ( The Study on the Etching Characteristics of Pt Thin Film by O2 Addition to Cl2 / Ar Gas Plasma )

김창일 ,  권광호

전자공학회논문지-D

1999 .05

프로세스 모형화 기술을 이용한 QMS 재설계에 관한 연구

정현석 ,  강병환 ,  박동준 외 1명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2005 .05

ZnO 박막의 청색 $Cl_2/Ar$플라즈마 식각

박진수 ,  한윤봉 ,  이규철

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

유도결합형 $Cl_2/BCl_3/Ar$ 플라즈마를 이용한 sapphire wafer의 건식 식각

성연준 ,  이용혁 ,  김현수 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

오염된 QMS의 원인 분석과 세정 및 기능 복원

김동훈 ,  주정훈

한국표면공학회지

2015 .08