Laser CVD에 의한 SiO2막의 형성과 제특성 ( Formation and Properties of Silicon Dioxide Film by Laser-Chemical Vapor Deposition )

김용우 ,  김천섭 ,  김상욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

실리콘窒化膜의 氣相成長과 그 電氣的 特性

成英權 ,  閔南基 ,  金承培

전기의세계

1979 .09

Single Source Chemical Vapor Deposition of Epitaxial silicon Carbide Films

Kyung Won Lee ,  Kyu Sang Yu ,  Yun Soo Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Low-Temperature Chemical-Vapor Deposition - A NOVEL THIN-FILM TRANSISTOR PROCESS -

Masakiyo Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Deposition of Silicon Films at Low Temperature with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ( RPECVD )

Sung Woo Lee ,  Shi Woo Rhee

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

레이저를 이용한 실리콘카바이드 화학증착에 관한 연구

이영림 ,  유재은

대한기계학회 춘추학술대회

2002 .05

Formation of Multi-SOI Structures by Chemical Vapor Deposition

Gwiy Sang Chung

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

레이저 화학증착을 이용한 3차원 쾌속조형에 관한 실험적 연구

이영림 ,  유재은

대한기계학회 논문집 A권

2005 .01

Growth of 3C-SiC ( 111 ) Thin Films by Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition

Y. H. Seo ,  K. S. Nahm ,  H. W. Shim 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Si(CH₃)₄로부터 SiC의 레이저 화학증착에 관한 연구

이영림

대한기계학회 논문집 B권

2002 .09

New vapor-phase deposited polymer films by initiated chemical vapor deposition and their bio-device applications

임성갑

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

A STUDY ON FILM DEPOSITION MECHANISM OF SILICON DIOXIDE ( SiO2 ) FORMED BY PHOTO CVD

Ji Ho Ryoo ,  Yu Jin Ju ,  Jong Kwan Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Facet Formation in Selectively Overgrown Silicon by Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition

S. Song ,  S. Lee ,  B. Ryum 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

액체수송 유기금속 화학증착법 (LDS-MOCVD)에 의한 $Pb(Zr_xTi_{1-x})O_3$ 박막의 저온 ($450^{\circ}C$-$500^{\circ}C$) 증착 및 특성분석

정시화 ,  김혜령 ,  조금석 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

AN EXPERIMENTAL STUDY OF PARTICLE DEPOSITION DURING THE OUTSIDE VAPOR DEPOSITION PROCESS

Jae Geol Cho ,  Jae Yun Kim ,  Man Soo Choi

KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference

1996 .10

Chemical Vapor Deposition Processes in the Manufacture of Optical Fibers

Ralph G ,  eif

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1993 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

Direct Chemical Vapor Deposition Growth of ReS2 on Graphene

서지형 ,  이정현 ,  박혜성

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10