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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.27 No.1
발행연도
2010.1
수록면
125 - 133 (9page)

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A versatile micro-robotic platform for micro/nano scale assembly has been demanded in a variety of application areas such as micro-biology and nanotechnology. In the near future, a flexible and compact platform could be effectively used in a scanning electron microscope chamber. We are developing a platform that consists of miniature mobile robots and a compact positioning stage with multi degree-of-freedom. This paper presents the design and the implementation of a lowcost and compact multi degree of freedom position sensor that is capable of measuring absolute translational and rotational displacement. The proposed sensor is implemented by using a CMOS type image sensor and a target with specific hole patterns. Experimental design based on statistics was applied to finding optimal design of the target. Efficient algorithms for image processing and absolute position decoding are discussed. Simple calibration to eliminate the influence of inaccuracy of the fabricated target on the measuring performance also presented. The developed sensor was characterized by using a laser interferometer. It can be concluded that the sensor system has submicron resolution and accuracy of ±4μm over full travel range. The proposed vision-based sensor is cost-effective and used as a compact feedback device for implementation of a micro robotic platform.
#Absolute Position Sensor (절대위치센서) #Electro Luminescence Foil (전계형광박막) #Experimental Design (실험계획법) #Image Sensor (이미지 센서) #Micro-robotic Platform (마이크로로보틱 플랫폼)

목차

1. 서론
2. 측정시스템 구성
3. 타겟 최적 설계를 위한 실험계획법
4. 절대위치계산
5. 성능 평가
6. 결론
후기
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