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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 및 고찰
3. 결론
참고문헌
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New Developments in 1 : 1 Optical Lithography
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
Soft lithography 를 이용한 마이크로 광학소자 제작 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .06
나노 임프린트 공정에 의한 나노결정 광도파로 제조공정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .10
액침 홀로그래픽 리소그래피 기술을 이용한 2 차원 나노패터닝
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .12
Polymer Photonic Crystal Nano-Systems Fabricated by Nanoimprint Lithography
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2006 .10
소프트 리소그래피 기술 동향
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .04
나노 광소자용 나노스탬프 제조공정 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2005 .12
Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰
전자공학회지
2001 .08
Fabrication of Photonic Crystal Film
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2014 .10
고효율 광학 소자를 위한 전자빔 및 나노임프린트 기술
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2009 .06
Optical Lithography at Low K Factors
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
ADVANCED LITHOGRAPHY
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
Fabrication of functional nano-structures using nanoimprint lithography and its application to photonic devices
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
Holographic Polymer-Dispersed Liquid Crystals and Polymeric Photonic Crystals Formed by Holographic Photolithography
Macromolecular Research
2006 .04
E-Beam Lithography 기술
전자공학회잡지
1984 .10
대면적 나노구조 패턴 제작을 위한 레이저 간섭 리소그래피 기술을 활용한 가간섭성 회절 기술에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
나노임프린트된 폴리머 광결정
대한기계학회 춘추학술대회
2003 .11
Photonic Crystal Laser
한국통신학회 학술대회논문집
2004 .07
광자결정 도파로 성형용 PDMS 스탬프 제작
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2007 .04
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