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1. 서론
2. 본론
3. 결론
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참고문헌
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레이저 드릴링을 이용한 TSV 형성 및 고속 Cu-filling
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
레이저를 이용한 하이브리드 TSV 가공공정에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
하이브리드 공정을 이용한 실리콘의 비아특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .05
피코초 레이저의 드릴링 조건에 따른 TSV 가공 특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .03
피코초 레이저의 펄스제어모드에 따른 실리콘의 드릴링특성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
Laser drilling을 이용한 TSV via 형성
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2009 .11
TSV 형성을 위한 DRIE 기술
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2009 .12
피코초 레이저의 공정변수에 따른 TSV 드릴링 특성연구
한국레이저가공학회지
2010 .01
피코초 레이저를 이용한 TSV가공 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .10
피코초 레이저 드릴링 공정 및 플랫폼
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2010 .10
피코초 레이저를 이용한 TSV 형성에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
UV 피코초 레이저를 이용한 TSV 가공공정에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
레이저를 이용한 드릴링 기술
기계와 재료
1990 .01
CO₂ 레이저를 이용한 유리의 드릴링 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .04
초고속 레이저 드릴링 경로 최적화 알고리즘
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
광학센서를 이용한 실리콘 관통 전극 식각 공정에서 식각 종료점 검출
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
드릴링 공정의 버 최소화를 위한 새로운 G 코드 개발 ( Development of a New G Code for the Burr Minimization of Drilling Process )
대한기계학회 춘추학술대회
1999 .01
초정밀/초고속 레이저 드릴링 기술의 산업적 응용
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .04
피코세컨드 레이저를 이용한 실리콘 웨이퍼 드릴링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .11
고심도/고품위 세라믹 레이저 드릴링 기술
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .04
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