피코초 레이저를 이용한 TSV가공 특성에 관한 연구

신동식; 서정; 이제훈; 김경한; 백병만

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신동식 (한국기계연구원) 서정 이제훈 김경한 백병만

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2009년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2009.10

수록면: 701 - 702 (2page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (8)

2012

UV 피코초 레이저를 이용한 TSV 가공공정에 관한 연구

신동식 , 서정 , 조용권 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2012.06 학술대회자료

2011

피코초 레이저 및 CDE를 이용한 TSV가공기술

신동식 , 서정 , 조용권 외 1명 한국레이저가공학회지 2011.01 학술저널

2010

피코초 레이저의 펄스제어모드에 따른 실리콘의 드릴링특성 비교

신동식 , 서정 , 김경한 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.11 학술대회자료

피코초 레이저의 공정변수에 따른 TSV 드릴링 특성연구

신동식 , 서정 , 김정오 한국레이저가공학회지 2010.01 학술저널

2009

피코초 레이저를 이용한 TSV가공 특성에 관한 연구

신동식 , 서정 , 이제훈 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료

2006

피코초 레이저를 이용한 금속의 미세가공 특성

신동식 , 이제훈 , 서정 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.06 학술대회자료

피코초 레이저를 이용한 니켈의 미세가공 특성

신동식 , 이제훈 , 서정 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

피코초 레이저를 이용한 금속의 가공특성

신동식 , 이제훈 , 서정 외 3명 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2006.01 학술대회자료

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 전기전자공학 > 제어계측공학

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이제훈

소속기관 단국대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 241 이용수 16,174

G.-H. Kim

소속기관 현대이디에스

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 제어계측공학

논문수 94 이용수 3,391

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