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이용수
1. 서론
2. 진공용 공기베어링 구조 및 설계변수의 영향 분석
3. 유전알고리즘을 이용한 최적설계
4. 최적설계 결과
5. 결론
참고문헌
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진공용 공기베어링 배기시스템의 최적설계
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2007 .06
진공용 공기베어링의 성능해석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .10
진공환경용 공기베어링의 Leakage 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 미소구동특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .10
진공챔버내 구동을 위한 외부 비접촉 시일의 설계 및 진공도 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .12
공기베어링을 이용한 진공환경 운동전달용 피드스루
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
진공기술
전기의세계
1988 .07
공기 정압 베어링에서 열의 영향에 따른 베어링 특성에 관한 연구 ( A Study on the Bearing Characteristics of Air Bearing System According to the Thermal Effects )
Tribology and Lubricants
2001 .02
진공예압형 다공질 공기베어링의 압력분포 및 성능해석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2013 .12
공기 베어링의 능동제어에 관한 연구 ( A Study on Active Control of Air Bearing )
한국트라이볼로지학회 학술대회
1993 .06
공기베어링의 능동 제어에 관한 연구 ( A Study on the Active Control of Air Bearing )
대한기계학회 춘추학술대회
1995 .01
공기 베어링의 능동제어에 관한 연구 ( A Study on the Active Control of Air Bearing )
대한기계학회 논문집 A권
1996 .08
진공 배기 및 초음파 접합 복합기 진동자 냉각에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2012 .04
전자빔 가공기의 진공제어 밸브 설계 및 특성평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
반도체공정 고진공시스템 진공특성에 대한 배기도관 컨덕턴스 영향 전산모사
전기전자재료학회논문지
2010 .01
디스플레이공정 진공시스템 밸브응용에 따른 진공특성 전산모사
한국인터넷방송통신학회 논문지
2012 .01
사각진공탱크의 진공압에 의한 변형해석 및 설계 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .04
멀티 와이어 쏘 스윙부 등가 강성 모델링 및 진동 해석
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2018 .04
변형과 공기베어링의 연동해석을 통한 Air Foil Bearing 의 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .04
전자빔 마스터링을 위한 공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 설계 및 진공특성 평가
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2008 .12
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