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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.1
- 수록면
- 115 - 120 (6page)
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PLD법으로 3wt.%Al이 도핑된 ZnO 타겟을 이용하여 corning 1737 기판위에 200 mTorr의 고정된 산소 분압에서 기판 온도(100~250℃)에 따른 AZO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성을 조사하였다. 모든 박막들은 c 축 배향되었으며, 오직 (002) 회절 피크만 관찰되었다. 250℃에서 제작한 AZO 박막에서 가장 우수한 (002) 배향성을 보았으며, 이 때의 반가폭 값은 0.44° 였다. 모든 박막이 가시광 영역에서 85% 이상의 투과율을 보였으며, Burstein-Moss효과가 관찰되었다. 전기적 특성은 250℃에서 제작한 박막에서 가장 우수한 캐리어 농도 (3.48 × 10<SUP>20</SUP> cm<SUP>-</SUP>3) 비저항 (1.65 × 10<SUP>-2</SUP>Ωcm) 값을 나타냈다.
목차
요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (18)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - H. D. Ko / 2005 / Growth of Al-doped ZnO thin films by pulsed DC magnetron sputtering / J. Cryst. growth 277 : 352 ~ 358
2. [학술지(정기간행물)] - Xin Chen / 2005 / Influence of substrate temperature and post-treatment on the properties of ZnO:Al thin films prepared by pulsed laser deposition / Appl. Surf. Sci. 252 : 1561 ~ 1567
3. [학술지(정기간행물)] - Z. Y. Ning / 1997 / Preparation and characterization of ZnO:Al films by pulsed laser deposition / thin solid films 307 : 50 ~ 53
4. [학술지(정기간행물)] - Shou-Yi Kuo / 2006 / Effects of Doping Concentration and Annealing Temperature on Properties of Highly- oriented Al-doped ZnO films / J. Cryst. Growth 287 : 78 ~ 84
5. [학술지(정기간행물)] - Y. M. Chung / 2006 / The low temperature synthesis of Al doped ZnO films on glass and polymer using pulsed co-magnetron sputtering: H2 effect / thin solid films 515 : 567 ~ 570
2. [학술지(정기간행물)] - Xin Chen / 2005 / Influence of substrate temperature and post-treatment on the properties of ZnO:Al thin films prepared by pulsed laser deposition / Appl. Surf. Sci. 252 : 1561 ~ 1567
3. [학술지(정기간행물)] - Z. Y. Ning / 1997 / Preparation and characterization of ZnO:Al films by pulsed laser deposition / thin solid films 307 : 50 ~ 53
4. [학술지(정기간행물)] - Shou-Yi Kuo / 2006 / Effects of Doping Concentration and Annealing Temperature on Properties of Highly- oriented Al-doped ZnO films / J. Cryst. Growth 287 : 78 ~ 84
5. [학술지(정기간행물)] - Y. M. Chung / 2006 / The low temperature synthesis of Al doped ZnO films on glass and polymer using pulsed co-magnetron sputtering: H2 effect / thin solid films 515 : 567 ~ 570
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