Reactive sputtering 법으로 증착된 AZO 박막의 전기적 및 구조적 특성

허주희 ,  이유림 ,  이규만

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

RF 스퍼터링을 이용한 AZO 박막 증착과 특성연구

서창택 ,  공대영 ,  윤성호 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

H2O, O3 반응기체로 원자층 증착된 Al-doped ZnO 박막의 특성

김민이 ,  장효식 ,  조영준

전기전자재료학회논문지

2015 .01

DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 AZO 박막의 특성

박이섭 ,  이승호 ,  송풍근

한국표면공학회지

2007 .06

스퍼터링법으로 증착한 Al 박막의 결정 배향성에 관한 연구

최한메 ,  최시경

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

유리 기판 위에 증착된 Al Doped ZnO 박막을 이용한 전자파 차폐 및 항균 특성의 동시 구현

윤순길 ,  최형진

전기전자재료학회논문지

2016 .01

스퍼터링법으로 증착된 W박막의 미세구조

장철민 ,  최병호

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

BaNb₂O₆:Eu³⁺ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과

강현식 ,  박성민 ,  조신호

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

유도결합 플라즈마 스퍼터링을 이용한 플라스틱 기판 상의 Al이 도핑된 ZnO 박막 증착

정승재 ,  한영훈 ,  이정중

한국표면공학회지

2006 .06

스퍼터링 증착법을 이용한 박막 배터리 제조 및 분석

현승민 ,  오민섭

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

박막내 AIN 함량이 $(Ti_{1-x}Al_x)N$ 박막의 미세구조와 미세경도에 미치는 영향

박종관 ,  박주동 ,  오태성

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

스퍼터링에 의한 고밀도 Al 박막 코팅과 특성 분석

양지훈 ,  정재인 ,  장승현 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 Al이 도핑 된 ZnO (AZO) 박막의 특성에 대한 연구

윤의중 ,  정명희 ,  박노경

전자공학회논문지-SD

2010 .07

스퍼터링 전력 변화에 따른 Al thin film의 특성 분석

홍근기 ,  홍순관

한국산학기술학회 학술대회논문집

2009 .05

반응성 스퍼터링 조건에 따른$ Al_2O_3$박막의 유전특성 및 누설전류 특성

최재훈 ,  박주동 ,  오태성

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

CIGS 태양전지의 윈도우 층에 적용 가능한 스퍼터링으로 증착한 AZO 박막의 공정압력의 영향에 따른 특성 연구

윤여탁 ,  조의식 ,  권상직

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

RF 파워에 따라 스퍼터된 Al doped ZnO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성

김종욱 ,  김덕규 ,  김홍배

전기전자재료학회논문지

2011 .01

마그네트론 스퍼터를 이용한 Ar 가스 유량 조절에 따른 AZO의 특성 변화

이승진 ,  정영진 ,  손창식

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2011 .11

증착온도에 따른 AZO 박막의 전기적, 광학적 특성에 관한 연구

서문수 ,  이수호 ,  박용섭 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .07

반응성 스퍼터링에서 산화 티타늄 박막의 성장 특성

이필홍 ,  고경현 ,  안재환 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01