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1. 머릿말
2. Plasma Etching의 이론
3. 맺는말
참고문헌
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1983 .06
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1994 .07
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1994 .07
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1981 .03
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Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd)
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2020 .02
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1997 .11
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대한전자공학회 학술대회
1997 .11
Surface Analysis of Fluorine-Plasma Etched Y-Si-Al-O-N Oxynitride Glasses
한국재료학회 학술발표대회
2009 .01
Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation
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2017 .01
PCR 장치를 위한 플라즈마 식각에 관한 연구
청정기술
2003 .09
플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1994 .10
플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
Investigation of Plasma Etching Properties of Polymeric Materials Used for Packaging Application
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
Plasma and Reactive Ion Etching
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
Etching Effect of Solution Plasma on Gold Nanoparticles
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
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