원자층증착법으로 성장시킨 MoS₂ 박막을 다른 기판으로 이전하기

김진우 ,  김성준 ,  민요셉

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

Al₂O₃ 기판 위에 제작된 Ta/Ta₂O₅/Ta 박막 커패시터의 전기적 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

실리콘 산화막에 대한 Ta-Mo 합금 게이트의 열적 안정성

노영진 ,  이충근 ,  홍신남

전기전자재료학회논문지

2004 .01

MOS 구조의 특성

성영권 ,  여권 ,  이상훈

대한전기학회 학술대회 논문집

1986 .07

O₂ RTA 방법으로 제조된 Ta₂O_5-x 박막의 전기적 특성

金寅性 ,  宋在成 ,  尹文洙 외 1명

전기학회논문지 C

2002 .08

얇은 Si 산화막을 지닌 MOS 구조의 전기적 특성

성영권 ,  안상식 ,  백우현

대한전기학회 학술대회 논문집

1984 .07

DC 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 증착된 Mo 박막의 특성

공선미 ,  소우빈 ,  김은호 외 1명

화학공학

2011 .01

통계적 실험 방법에 의한 Ta 박막의 증착 특성 연구

서유석 ,  박대규 ,  정철모 외 6명

한국재료학회지

2001 .01

B-TA 기술

이창범

한국통신학회 워크샵

1995 .01

열처리 온도에 따른 $Ta_2O_5$ 박막의 특성변화

강필규 ,  진정근 ,  노대호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

B-TA 기술 개발

전경표

한국통신학회 워크샵

1996 .01

Al2O3 기판위에 형성된 Ti-O 완충층을 가진 Ta/Ta2O5/Ta 커패시터의 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

반응성 스퍼터링방법으로 증착된 Ta-N 박막의 미세구조 분석

민경훈 ,  김기범

한국표면공학회지

1994 .10

동작속도가 빠른 Mo2N/Mo 게이트 MOS 집적회로 ( High Speed Mo2N/Mo-Gate MOS Integrated Circuit )

김진섭 ,  이우일 ,  이대우 외 1명

전자공학회지

1985 .07

방사선이 조사된 MOS 구조에서의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics in irradiated MOS capacitors )

권순석 ,  채홍인 ,  류부형 외 2명

한국통신학회 학술대회논문집

1992 .01

Ta₂O₅의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

김인성 ,  송재성 ,  이동윤 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

Ta₂O₅ 커패시터 박막의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

金寅性 ,  李東胤 ,  宋在成 외 2명

전기학회논문지 C

2002 .05

통계적 실험 방법에 의한 Ta 및 TaN 박막의 증착 특성

서유석 ,  박대규 ,  이상협 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01