지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.6
- 수록면
- 216 - 217 (2page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
FIB has been commonly used as a very powerful tool in the semiconductor industry. It is mainly used for mask repair, device correction, failure analysis and IC error correction, etc.
Currently, FIB is not being applied to the fabrication of the micro and nano-structured mold, because of low productivity. And also sputtering rate has been required to fabricate 3D shape.
In this pa ... 전체 초록 보기
Currently, FIB is not being applied to the fabrication of the micro and nano-structured mold, because of low productivity. And also sputtering rate has been required to fabricate 3D shape.
In this pa ... 전체 초록 보기
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
FIB를 이용한 DLC소재의 가공공정에 관한 연구
대한기계학회 논문집 A권
2009 .03
-
FIB-Sputtering 가공공정기술 및 응용분야 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2008 .03
-
GC재료의 FIB가공 특성분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
-
FIB를 이용한 마이크로금형가공공정 기술 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .11
-
집속이온빔의 전류변화에 따른 미세가공 특성분석
한국생산제조학회지
2006 .12
-
가공 및 측정이 가능한 복합나노가공시스템의 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2004 .04
-
마이크로 플라즈마 전극가공을 위한 FIB 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2004 .01
-
FIB 나노 가공공정 및 응용기술 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
-
FIB 가공 공정 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
-
DLC 마이크로 패턴을 가지는 알루미늄 금형 제작 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2013 .11
-
FIB를 이용한 마이크로 플라즈마 전극 개발
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2005 .05
-
다구찌 기법을 이용한 FIB 가공공정 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2005 .10
-
2002년도 제1회 fib 회의
콘크리트학회지
2002 .11
-
나노 홈 구현을 위한 FIB 공정기술 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .05
-
RF 스퍼터링과 이온소스 복합방식에 의한 플라스틱사출금형(SKD11)의 DLC막 응용
한국표면공학회지
2009 .08
-
다구찌 기법을 이용한 FIB-Sputtering 가공 특성 분석
한국생산제조학회지
2006 .12
-
포토 리소그래피 공정을 이용한 DLC 마이크로 패턴 원통 금형 제작
열처리공학회지
2018 .01
-
FIB를 이용한 나노가공공정 기술 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2004 .04
-
2003년 fib 심포지엄을 다녀와서
콘크리트학회지
2003 .07
-
Nano Stamp 제작을 위한 FIB 가공 공정 기술 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
무전해 도금의 코팅 공정에 따른 Ag 박막의 기계적 특성
이현대
,
김대은
대한기계학회 춘추학술대회
2012
.06
금형소재의 표면조도 향상을 위한 고밀도 전자빔 공정기술연구
강은구
,
김진석
,
김한수
외 1명
대한기계학회 춘추학술대회
2012
.06
LED 리드프레임 반사율 향상을 위한 Sn-3.5Ag 무전해도금의 열 충격 특성 연구
기세호
,
김원중
,
정재필
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2012
.11
고출력 LED용 플립칩본딩 특성 연구
이태영
,
최종현
,
장명기
외 1명
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2012
.11
은도금의 기술동향
김유상
,
정광미
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012
.05
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-018660464