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Recent mold industry uses many roll-to-roll processes that can produce high production speed and precision machining and automation process. In the circular cylinder mold, however, patterns of less than $10{\mu}m$ are difficult to manufacture and maintain. In this study, we fabricated a circular cylindrical mold with a DLC thin film which have high hardness, low coefficient of friction and high releasability by using lithography and lift-off process. The height, line width, and pitch of the fabricated DLC macro pattern are $3.1{\mu}m$, $9.1{\mu}m$ and $20.2{\mu}m$, respectively. The pattern size is finer than the current applied to the aluminum cylinder type, and this shows the possibility of practical use of DLC micro pattern roll mold.
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Franke / 2014 / Three-Dimensional Molded Interconnect Devices (3DMID)
Harry J. Levinson / 2001 / Principles of Lithography
Y. Xia / 1998 / Whitesides : Soft lithography / Annual review of materials science 28:153~184
M. A. Unger / 2000 / Monolithic microfabricated valves and pumps by multilayer soft lithography / Science 288:113~116
S. Y. Chou / 1996 / Nanoimprint lithography / Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 14:4129~4133
Harry J. Levinson / 2001 / Principles of Lithography
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M. A. Unger / 2000 / Monolithic microfabricated valves and pumps by multilayer soft lithography / Science 288:113~116
S. Y. Chou / 1996 / Nanoimprint lithography / Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 14:4129~4133
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