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논문 기본 정보
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- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.10
- 수록면
- 8 - 12 (5page)
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DLC (Diamond Like Carbon) films have predominant mechanical properties like a high hardness, low friction and high chemical resistance; therefore, DLC films are applied in a wide range of industry fields. Especially, we tribologically evaluated characteristics of DLC films depositedon 100Cr6 that is generally applied to mechanical parts such as Automobile and shipping building etc. We studied on the DLC films deposited on bearing steel (100Cr6) having different hardness. DLC films are Deposited on 100Cr6 having different hardness by RF-PECVD (Radio Frequency-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) method. As interlayer, Si-interlayer is deposited on 100Cr6 to improve adhesion strength by RF-Sputtering method. The DLC film structures were analyzed with Raman spectra and evaluated to Gaussian function. And also, adhesion strength of DLC films was measured with a Scratch tester and we performed wear test with a Tribe-meter to measure coefficient of friction. As a result, adhesion strength was high and Coefficient of friction was low, with increasing the hardness of 100Cr6
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
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