Low Angle Forward Reflected Ar 중성빔을 이용한 Si의 원자층 식각

김미숙; 박상덕; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김미숙 박상덕 염근영

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005년도 춘계 학술발표회 초록집

발행연도: 2005.5

수록면: 50 - 50 (1page)

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김미숙

소속기관 한국표면공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 4 이용수 60

박상덕

소속기관 한국표면공학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 5 이용수 91

염근영

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 337 이용수 10,958

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