고밀도 플라즈마에 의한 EUV 발생기술

진윤식 ,  이홍식 ,  김광훈 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

EUV Lithography 개요 및 기술 개발 현황

김용주 ,  박도영 ,  진윤식 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석

우동곤 ,  김정환 ,  김정식 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작

김정환 ,  홍성철 ,  조한구 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

EUV 리소그래피의 감광제 패터닝 공정에 대한 전산모사

김무영 ,  문정환 ,  최준명 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .04

EUV pellicle의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가

우동곤 ,  홍성철 ,  김정식 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

EUV Lithography 개요 및 기술 개발 현황

김용주 ,  박도영 ,  진윤식 외 2명

전기의세계

2002 .02

Ring-Field EUV Exposure System Using Aspheric Mirrors

Katsuhiko Mu ,  akami ,  Tetsuya Oshino 외 9명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Study of interfacial roughness in EUV photoresist from a molecular approach

박주혜 ,  이성규 ,  김명웅 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .04

Novel Silicon-containing Polynorbornenes as Photoresists for Extreme Ultraviolet Lithography

곽영제

한국섬유공학회지

2006 .01

Interpretation of Line Edge Roughness in Extreme-Ultraviolet (EUV) Lithography using Molecular Simulations

박주혜 ,  이성규 ,  Yannick Veste 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .04

Comparison of Etching Characteristics of ArF and EUV Resists in Dual-frequency Superimposed Capacitively Coupled Plasmas

Bong Soo Kwon ,  Jin Sung Kim ,  Young Rok Pa 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

극자외선(EUV) 리소그라피를 위한 광원 및 스테이지 기술

진윤식 ,  박도영 ,  전정우 외 1명

전기의세계

2002 .02

해외신기술 동향

한국광산업진흥회

광산업정보

2003 .01

A chemically amplified molecular resist containing tertiary caprolactone for EUV lithography

정선화 ,  조경천 ,  김진백

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .10

극자외선 노광 공정용 마스크 제작 공정의 최적화 연구

김우삼 ,  김충용 ,  김태근 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

Etching characteristics of ArF and EUV resists in dual-frequency superimposed capacitively coupled CF₄/O₂/Ar and CF₄/CHF₃/O₂/Ar plasmas

권봉수 ,  김진성 ,  박영록 외 7명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Synthesis of Fluorinated Alternating Copolymer and Photolithographic Characterization under High Energy Electron-beam and EUV Radiation

구예진 ,  이진균

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2020 .10

극자외선 간섭 리소그래피용 Transmission Grating 나노공정기술개발

안병남 ,  이동근 ,  노병훈 외 3명

한국통신학회 기타 간행물

2009 .12

멀티스케일 전산모사기법을 이용한 EUV 리소그래피 공정의 포토레지스트 형상 예측

조맹효 ,  김무영 ,  문정환 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12