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고밀도 플라즈마에 의한 EUV 발생기술
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
가간섭 EUV 생성을 위한 미세 패턴의 설계 및 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
High-precision machining of aspheric mirror surfaces for the space cryogenic infrared telescope
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .09
EUV Lithography 개요 및 기술 개발 현황
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .11
EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
EUV Lithography 개요 및 기술 개발 현황
전기의세계
2002 .02
EUV pellicle의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
EUV 리소그래피의 감광제 패터닝 공정에 대한 전산모사
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .04
자동설계 프로그램을 이용한 비구면 렌즈의 가공 및 검증에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2005 .05
Al6061-T651의 초정밀 절삭특성에 관한 연구
한국기계가공학회지
2005 .03
비구면 거울 설계에 대한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2006 .11
비축 비구면 반사경의 초정밀가공 공정기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
비구면 설계를 위한 자동설계프로그램 활용
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2007 .06
비구면의 설계와 측정
한국안광학회지
2005 .04
ASPHERIC LENS 금형개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1992 .05
Novel Silicon-containing Polynorbornenes as Photoresists for Extreme Ultraviolet Lithography
한국섬유공학회지
2006 .01
역공학을 이용한 비구면 렌즈의 형상 설계 정보 추출
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2005 .10
비구면 설계를 위한 자동설계프로그램 활용
한국기계가공학회지
2007 .09
광학소자용 초정밀 비구면 가공프로그램 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2004 .04
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