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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
정규원 (충북대학교) 박종성
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2009 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.10
수록면
374 - 379 (6page)

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For an ultra high precision stage a PZT actuator is used as an actuator in order to obtain nano meter resolution. However, such stage system has much uncertainty in modeling stage and actuator. The mechanical structure has many vibration mode and the PZT has hysteresis and creep phenomena. In this paper tracking performance for sinusoidal reference is enhanced by a controller which is designed based upon H infinity design method. A series of experiments were conducted and results were shown.
#stage #PZT #tracking performance #H infinity

목차

Abstract
1. 서론
2. 시스템 모델링
3. 제어기 설계
4. 결론
참고문헌

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