준 3차원 나노급 형상가공을 위한 전자빔의 전압별 노광 특성

김재구 ,  오승훈 ,  조성학 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

전자빔의 파라미터에 따른 노광특성 분석

오승훈 ,  김재구 ,  최두선 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .06

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

Optical Lithography at Low K Factors

Ha ,  y Sewell

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

웨이퍼 렌즈를 이용한 소형전자빔 리소장치 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

E-beam lithography 를 이용한 0.1μm NMODFET 제작 ( The Fabrication of the 0.1μm NMOSFET by E-beam Lithography )

유상기 ,  김여환 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .01

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

고효율 광학 소자를 위한 전자빔 및 나노임프린트 기술

조상욱 ,  오승훈 ,  김창석 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2009 .06

전자빔의 독립 노광 방식을 이용한 마이크로 멀티레벨 렌즈 제작

우도균 ,  하네 카즈히로 ,  이선규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

New Approach of Monte Carlo Simulation for Low Energy Electron Beam Lithography

Soo Hwan Kim ,  Young Mog Ham ,  Won Gyu Lee 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01