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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.6
- 수록면
- 37 - 42 (6page)
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The Silicon carbide (SiC) is a popular material because of its good mechanical characteristics and chemical characteristics. But it is difficult to process due to its high-hardness and high brittleness. Especially, micro drilling process is difficult. This study reports the micro hole drilling for CVD-SiC (Chemical Vapor Deposition - Silicon Carbide) using high-frequency spindle. The experiment of micro drilling process includes measuring the life of the PCD drill, chipping and surface roughness of hole section. From the results of the experiment, the micro hole drilling was characterized for CVD-SiC using high-frequency spindle.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 시험편 및 실험장치
3. 실험조건 및 방법
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
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