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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제31권 제10호
발행연도
2007.10
수록면
1,039 - 1,045 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

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Ultrasonic machining (USM) is suitable for machining hard, brittle and non-conductive materials such as silicon, glass and ceramics. Usually, when micro holes are machined on glass by USM, roundness of hole entrance is poor and cracks appear around the hole exit. In this paper the machining characteristics were studied for roundness improvement and exit crack prevention. From experiments, the tool bending and the shape of tool tip affect hole roundness. When the tool tip is hemispherical, good roundness of holes was obtained. The feedrate and the rotational speed of the tool affect the exit crack. With the machining conditions of 150 rpm in spindle speed and 0.5 ㎛/s in feedrate, micro holes with less than 100 ㎛ in diameter were machined without an exit crack.

목차

Abstract
1. 서론
2. 초음파 가공
3. 구멍 입구의 진원도
4. 크랙 방지
5. 결론
참고문헌

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