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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.6
수록면
20 - 23 (4page)

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Lithium niobate (LiNbO₃) crystal is a kind of brittle and high hardness material. Lithium niobate is ferroelectric that has piezoelectric and pyroelectric characteristic. Because of these characteristics, lithium niobate is used in many electron components and parts. However, it is easily damaged during machining, and difficult to obtain high quality surface. In oder to obtain high MRR (material removal rate) and high quality surface roughness, lithium niobate polishing process applied to CMP (chemical mechanical polishing) process which is consisted of chemical and mechanical effects. In these experiments, two type pads closed-cell type pad (IC 1400 K-groove pad) and opened-cell type pad (Suba 800 M2 pad) and slurry of fumed silica type (ILD 1300 slurry) were used in same velocity and pressure conditions. Nano-view was used to measure surface roughness of the wafer.
#Lithium Niobate (리튬니오베이트) #CMP(화학 기계적 연마)MRR(재료제거율) #Roughness(거칠기)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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