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저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
1,857 - 1,862 (6page)

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Resonant frequency tuning of micro devices is essential to achieve performance uniformity and high sensitivity. Previously reported frequency tuning methods using electrostatic force or mass deposition are not directly applicable to non-conducting polymer devices and have limitations such as dielectric breakdown or low tunable bandwidth. In this paper, thermally frequency-tunable microactuators with poly-dimethylsiloxane membranes are proposed. Permanent and/or nonpermanent frequency tunings are possible using a simple temperature control of the device. Resonant frequency and Q-factor variations of devices according to temperature change were studied using a micro heater and laser Doppler vibrometer. The initial resonant frequencies determined by polymer curing and hardening temperatures are reversibly tuned by thermal cycles. The measured resonant frequency of 9.7 ㎑ was tuned up by ~ 25% and Q-factor was increased from 14.5 to 27 as the micro heater voltage increased from 0 to 70 V.
#Frequency tuning(주파수튜닝) #Polymer membrane(고분자 막) #Microactuators(마이크로 액추에이터) #Thermal stress(열응력)

목차

Abstract
1. 서론
2. 기본개념 및 원리
3. 소자의 제작과 측정장치
4. 실험 및 결과
5. 결론
참고문헌

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