메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제27권 제8호
발행연도
2003.8
수록면
1,259 - 1,265 (7page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
We present a new post-fabrication frequency tuning method for laterally driven electrostatic microresonators using a DC-biased electrostatic comb array of linearly varied finger-length.The electrostatic tuning force and the equivalent stiffness, adjusted by the DC-biased tuning-comb array, have been formulated as functions of geometry and DC tuning voltage. A set of frequency-tunable microresonators has been designed and fabricated by 4-mask surface-micromachining process.The resonant frequency of the microfabricated microresonator has been measured for a varying tuning valtage at the reduced pressure of 1 torr. The maximum3.3% reduction of the resonant frequency is achieved at the tuning valtage increase of 20V.

목차

Abstract

1.서론

2.주파수 조정구조물의 힘특성

3.주파수조정 미소공진기

4.제조공정

5.시험 및 측정

6.결론 및 토의

후기

참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

마찰력과 주파수 조정을 이용한 다자유도 피에조 선형 구동원리 제안
박영호 ,  이종현 ,  김경수 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009 .06
기계식 타이머 밸런스 휠의 진동 주파수 측정 및 조정 장비의 개발 ( Development of a oscillating frequency measurement and adjustment system of a balance wheel of Mechanincal Timer )
이돈진 ,  박수범 ,  안중환 대한기계학회 춘추학술대회 2000 .04

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-014039654