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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2004도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2004.4
수록면
240 - 245 (6page)

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Tensile properties of hard coating material, TiN, were evaluated using micro-tensile testing system. TiN has been known as a hard coating material commonly used today. Micro-tensile testing system consisted of a micro tensile loading system and a micro-ESPI(Electronic Speckle Pattern Interferometry) system. Micro-tensile loading system had a maximum load capacity of 500mN and a resolution of 4.5 ㎚ in stroke. TiN thin film 1㎛ thick was deposited on the Si wafer pre-deposited of Si₃N₄ film substrate by the closed field unbalanced magnetron sputtering (CFUBMS) process. Three kinds of micro-tensile specimen with the respective width of 50㎛, 100㎛ and 500㎛ were fabricated by MEMS process. The mechanical properties including tensile strength and elastic modulus were determined using the micro-tensile testing system and compared by those obtained by nano-indentation
#Hard coating material(경질 박막 소재) #TiN #Micro-ESPI(마이크로 ESPI) #micro-tensile test(마이크로인장시험) #Tensile Strength(인장강도)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
후기
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