ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

InP nano-HEMT 구현을 위한 InP etch stop 층의 low damage Ar plasma etching 연구

노진현 ,  안호정 ,  오용하 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2010 .11

실험계획법에 의한 $CF_4/O_2$ 플라즈마 에칭공정의 최적화에 관한 연구

최만성 ,  김광선

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

Performance Characteristics in Pulsating Combustion

Sang Heun Oh

대한기계학회 춘추학술대회

1984 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술

양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명

한국표면공학회지

2015 .12

다층 RIE Electrode를 이용한 아크릴의 O/N 플라즈마 건식 식각

김재권 ,  김주형 ,  박연현 외 5명

한국재료학회지

2007 .01

Fabrication of micro gas sensor using Si deep RIE process

Joon-Shik Pa ,  k ,  Kwang-Bum Pa 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

Diagnostics of Pulsating Plasma Etching Process Using Langmuir Probe Measurement and Optical Emission Spectroscopy

이승환 ,  임영대 ,  유원종 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

The Dry Etching of TiN Thin Films Using Inductively Coupled CF4/Ar Plasma

우종창 ,  최창욱 ,  주영희 외 2명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2013 .01

PIV Measurement of Non-Pulsating and Pulsating Free Jets ( Velocity and Entrainment in the Developing Region )

Junichi Ohta ,  Yuichi Mu ,  ai 외 5명

KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference

1998 .08

저온을 이용한 Contact Etching Process 에 대한 연구

황정원 ,  변광욱 ,  양태호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

The Dry Etching Properties on TiN Thin Film Using an N_2/BCl_3/Ar Inductively Coupled Plasma

Jong-Chang Woo ,  주영희 ,  Jung-Soo Pa 외 2명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2011 .01

An Experimental Study on Heat Transfer in the Pulsating Pipe Flow

Hi-Yong Pak ,  Chang-Kee Kim

International Journal of Air-Conditioning and Refrigeration

1993 .08

다층 RIE Electodes를 이용한 아크릴의 $O_2/N_2$ Plasma Etching

김재권 ,  박연현 ,  백인규 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

4행정 가솔린 기관의 배기계 맥동압력 전달특성에 대한 주파수 해석

이준서 ,  정광국 ,  박종남 외 3명

한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집

1994 .06

CH₄ 플라즈마에 따른 TiN 박막 표면의 식각특성 연구

우종창 ,  엄두승 ,  김관하 외 2명

한국표면공학회지

2008 .10

MEMS 가공을 위한 실리콘 Deep Etching 기술 연구

김진현 ,  이종권 ,  류근걸 외 3명

한국산학기술학회 논문지

2004 .04

TYNGSTEN ETCHBACK PROCESS FOR SUB-HALF MICRON CONTACTS USING HELICON HIGH DENSITY PLASMA

Kwon ,  O.Sung ,  Choi 외 7명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01