Structure of Vapor-deposited Films of Indium and a Universal Depth Profile Curve in Sputter-etching Process

Shigeru Baba; Shogo Sato; Hiroaki Arai; Takeo Nakano

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Shigeru Baba Shogo Sato Hiroaki Arai Takeo Nakano

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 INTERFINISH 2008

발행연도: 2008.6

수록면: 106 - 106 (1page)

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