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저자정보
Jung, Sang-Kooun (Department of Physics, Kyungpook National University) Lee, Sung-Ho (Gumi Institute of Electronics Technology) Kim, Myung-Chan (Department of Physics, Kyungpook National University) Lee, Do-Kyung (Gumi Institute of Electronics Technology) Cho, Yong (Department of Physics, Kyungpook National University) Park, Duck-Kyu (Department of Physics, Kyungpook National University) Sohn, Sang-Ho (Department of Physics, Kyungpook National University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.II
발행연도
2005.1
수록면
1,560 - 1,563 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

Characteristics of the indium tin oxide film grown on PES and PET substrates by a low-frequency magnetron sputtering method
Jung ,  Sang-Kooun ,  Lee 외 12명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2005.01 학술대회자료

2004

Indium tin oxide films grown on polymer substrate by a low-frequency magnetron sputtering method
Jung ,  Sang-Kooun ,  Kim 외 13명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2004.01 학술대회자료

초록· 키워드

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In this study, we introduce indium tin oxide (ITO) thin films grown by using a low-frequency magnetron sputtering method (LFMSM). Characteristics of the ITO thin films deposited on polyethersulfone (PES) and polyethylene terephthalate (PET) substrates are investigated. Experiments were carried out as a function of deposition time. ITO thin films on polymer substrates revealed amorphous structure. The optical, the electrical and structural properties of the films on PES substrate are better than those on PET substrates.

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