Four Degree-of-Freedom Geometric Error Measurement System with Common-Path Compensation for Laser Beam Drift

Feng Qibo; Zhang Bin; Kuang Cuifang

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자료유형: 학술저널

저자정보: Feng Qibo Zhang Bin Kuang Cuifang

저널정보: Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.9 No.4

발행연도: 2008.10

수록면: 26 - 31 (6page)

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A precision four-degree-of-freedom measurement system has been developed for simultaneous measurement of four motion errors of a linear stage, which include straightness and angular errors. The system employs a retro-reflector to detect the straightness errors and a plane mirror to detect the angular errors. A common-path compensation method for laser beam drift is put forward, and the experimental results show that the influences of beam drift on four motion errors can be reduced simultaneously. In comparison with the API 5D laser measuring system, the accuracy for straightness measurement is about ±1.5㎛ within the measuring range of ±650㎛, and the accuracy for pitch and yaw measurements is about ± 1.5arc-seconds within the range of ±600arc-seconds.

#Straightness error #Angular error #Laser beam drift #Common-Path compensation #Machine tools metrology

참고문헌 (15)

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1. [학술지(정기간행물)] - Edwards,J.R / 1999 / Finite element analysis of the shock response and head slap behavior of a hard disk drive / IEEE Transactions on Magnetics 35 : 863 ~ 867

2. [학술지(정기간행물)] - Fan, K. C. / 1998 / A Six-Degree-of-Freedom Measurement System for the Motion Accuracy of Linear Stages / International Journal of Machine Tools Manufacturing 38 (3) : 155 ~ 164

3. [학술지(정기간행물)] - Chou, C / 1997 / CCD-Based Geometrical Error Measurement using Fourier Phase Shift Algorithm / International Journal of Machine Tools and Manufacturing 37 (5) : 579 ~ 590

4. [기타자료] - Huang, P. S. / 1995 / Multi-Degree-of-Freedom Geometric Error Measurement System, US Patent 5418611

5. [학술지(정기간행물)] - Ni, J / 1992 / A Multi-Degree-of-Freedom Measurement System for CMM Geometric Errors / ASME Journal of Engineering for Industry 114 (8) : 362 ~ 389

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