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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 韓國精密工學會 2001年度 春季學術大會 論文集
발행연도
2001.5
수록면
114 - 118 (5page)

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2005

레이저 간섭계의 진직도 측정오차 보상
김경호 ,  김태호 ,  이후상 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2005.09 학술저널

2001

레이저 간섭계의 진직도 측정오차 보상
김경호 ,  김태호 ,  송창규 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2001.05 학술대회자료

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 진직도 오차 측정 원리
3. 진직도 오차 보상 방법
4. 실험결과
5. 결론
참고문헌

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